
从半导体到数据中心:FC-3065氟化液如何赋能高精尖制造?
- 江西美琦
FC-3065氟化液是一款高性能的电子氟化液,具有低表面张力、高材料兼容性、优异的热稳定性和化学稳定性等特点,广泛应用于精密清洗、冷却、溶剂稀释等领域。
一、核心特性
1、物理性质
u沸点:61°C,低沸点设计便于快速蒸发和回收,适用于需要快速干燥的工艺。
u倾点:-135°C,极低的倾点确保在低温环境下仍保持流动性,适用于极端温度条件。
u密度:1.51 g/cm³,高密度有助于深入渗透微小缝隙,提升清洗效果。
u表面张力:低表面张力使其能渗透精密电子元件的微小结构,实现深度清洁。
2、化学性质
u不可燃性:无闪点,使用安全,降低火灾风险。
u不导电性:电气绝缘性能优异,适用于电子元件的直接接触处理。
u化学稳定性:与大多数金属、塑料(如丙烯酸、硅树脂、ABS/聚碳酸酯)及橡胶材料兼容,避免腐蚀或变形。
u环保性:臭氧消耗潜能值(ODP)为零,全球变暖潜能值(GWP)较低,符合环保法规要求。
3、溶解性与清洁能力
u适中的溶解力:可有效去除颗粒杂质、氟素残留、助焊剂松香等,同时避免过度溶解导致材料损伤。
u气相去污能力:通过沸腾蒸发实现无残留清洁,适用于高精度要求场景。
二、主要应用领域
1、精密清洗
u电子元件:清洗半导体刻蚀腔体、FOUPs(前开式标准晶圆盒)、LCD/OLED显示器、光学零件及镜片。
u工业设备:清洗汽车引擎零件、通讯设备、输氧管路设备等。
特殊场景:指纹采证中强化指纹纹路,提升检测精度。
2、冷却与热管理
u数据中心冷却:作为浸没式冷却液,高效传导热量,降低设备温度。
u电子设备控温:用于功率器件、干法刻蚀装置、光刻装置等设备的温度控制。
u工业冷却:适用于食品工业、化学医药品工业等领域的冷却装置。
3、溶剂与稀释剂
u电子涂层:作为屏幕涂层、氟油、氟树脂、氟涂层的稀释剂。
u反应溶媒:用于气密性测试、耐电压测试的媒介物,以及分析用萃取溶剂。
u润滑剂沉积:在沉积工艺中作为导热流体或润滑剂载体。
四、优势总结
u高效清洁:低表面张力与适中的溶解力结合,实现深度清洁且无残留。
u安全环保:不可燃、不导电、低GWP,符合环保法规,降低使用风险。
u材料兼容性:与多种金属、塑料及橡胶兼容,避免设备损伤。
u多功能性:集清洗、冷却、溶剂稀释于一体,减少工艺步骤和成本。
u热稳定性:高温下仍保持性能稳定,适用于苛刻工业环境。
三、型号与规格
3M 7100:基础型号,适用于大多数清洗、冷却和溶剂应用。
包装规格:25KG/桶、250KG/桶;满足不同规模需求,也可以根据客户要求订制。
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